日本電気硝子株式会社（本社：滋賀県大津市、社長：岸本暁）は、次世代半導体パッケージ向け基板材料として、レーザー改質・エッチング加工※1に対応した大型TGV（Through Glass Vias）※2 ...

株式会社AndTech（本社：神奈川県川崎市、代表取締役社長：陶山正夫、以下 AndTech）は、R&D開発支援向けZoom講座の一環として、昨今高まりを見せるウェットエッチング加工での課題解決ニーズ ...

エッチング加工用石英リングは、半導体製造、マイクロエレクトロニクス加工、および光デバイス製造における重要なプロセス部品である。当該部品は高純度石英材料により製造され、主に ...

エッチング技術の誕生は、15世紀中盤のヨーロッパだったと言われている。当時は、模様を彫った銅板に酸を流し込むことで、剥き出しの銅を腐食させて凹版を作製していた。腐食作用を ...

－多彩なオプション機能でダメージレス原子レベル加工を実現－ 株式会社日立ハイテクノロジーズ（執行役社長:宮崎 正啓/以下、日立ハイテク）は、次世代半導体デバイス製造プロセスに ...

高精度な加工が必要とされる半導体の製造過程では、異方性エッチングに向いた手法であるドライエッチングが用いられている。ドライエッチングと言えば、リアクティブ・イオン ...

愛知工業大学 工学部 機械学科 田中 浩 氏 にご講演をいただきます。 [画像1: https://prcdn.freetls.fastly.net/release_image/80053/1058 ...